使用连续波激励测量谐波需要使用信号发生器和信号分析仪。对于激励信号，需要使用信号发生器生成具有所需输出功率和频率的连续波。信号发生器生成激励信号后，信号分析仪在数倍于输入频率的频率下测量输出功率。常见的谐波测量有三次谐波和五次谐波，分别在3倍和5倍的激励频率下进行测量。

RF信号分析仪提供了多种测量方法来测量谐波的输出功率。一个直截了当的方法是将分析仪调至谐波的预期频率，并进行峰值搜索以找到谐波。例如，如果要测量生成1GHz信号时的三次谐波，则三次谐波的频率就是3GHz。

测量谐波功率的另一种方法是使用信号分析仪的零展频（zero span）模式在时域中进行测量。配置为零展频模式的信号分析仪可以有效地进行一系列功率带内测量，并将结果以时间的函数形式表现出来。在此模式下，可以在时域上测量选通窗口中不同频率的功率，并使用信号分析仪内置的取平均功能进行计算。

除此之外，在射频开关芯片的测试条件中一般规定了较大的输入功率，因此需要外加射频功率放大器将信号发生器的功率进行放大后给被测器件。

在量产测试中，信号分析仪相对较高，因此依然可以使用矢量信号收发仪搭配高功率模块来实现，  大化复用之前测试项所使用的仪器。

VST生成的单音射频信号，经NI的高功率模块（NI 5534）放大，输出功率可达38dBm，放大后的信号经低通滤波达到被测器件，被测器件的输出信号滤除主频成分后，剩下的谐波成分通过辅助开关送入NI高功率模块（NI 5534）的接收路径，经衰减后送入VST。